硏磨材、硏磨材之制造方法及硏磨加工方法

摘要

本发明之课题为提供一种生产性高、适合于精密研磨的可跨越长期间维持研磨初期研磨速度的含有研磨材粒子的研磨材。;本发明之研磨材，其特征系含有铈(Ce)、与选自镧(La)、镨(Pr)、钕(Nd)、钐(Sm)及铕(Eu)的至少1种的元素之合计含有量为81mol%以上，选自钇(Y)、钆(Gd)、铽(Tb)、镝(Dy)、钬(Ho)、铒(Er)、铥(Tm)、镱(Yb)及镏(Lu)的至少1种的元素之含有量为19mol%以下的研磨材粒子，前述研磨材粒子之粒径之单分散性为30%以下。