矽晶圆硏磨用组成物

摘要

本发明提供一种在研磨粒存在下使用之矽晶圆研磨用组成物。该组成物包含矽晶圆研磨促进剂、含醯胺基之聚合物及水。且，前述含醯胺基之聚合物于主链上具有构成单位A。前述构成单位A含有构成前述含醯胺基之聚合物之主链的主链构成碳原子、与第二级醯胺基或第三级醯胺基。而且，构成前述第二级醯胺基或第三级醯胺基之羰基碳原子系直接键结于前述主链构成碳原子上。