涂布装置及液面检测方法

摘要

适切地检测储存于狭缝喷嘴内之涂布液的液面。实施形态之涂布装置，系具备有狭缝喷嘴、移动机构、储存部用照明部、摄像部。狭缝喷嘴，系具备有：长条状本体部；储存部，在本体部之内部储存涂布液；及狭缝状吐出口，从储存部经由狭缝状之流路吐出所馈送的涂布液，而本体部中相互对向之第1壁部及第2壁部的至少各一部份系以透明构件而形成。移动机构，系使狭缝喷嘴对基板相对移动。储存部用照明部，系经由第1壁部之透明构件，对储存部内进行照明。摄像部，系经由第2壁部之透明构件，对储存部内进行拍摄。