| 发明名称 |
基板ホルダ、リソグラフィ装置、デバイス製造方法及び基板ホルダの製造方法 |
| 摘要 |
【課題】１つ以上の電子又は電気コンポーネントが上に形成される基板ホルダを提供する。【解決手段】リソグラフィ装置用の基板ホルダは、その表面に設けられた薄膜スタックを有する本体を備える。薄膜スタックは、電極、センサ、ヒータ、トランジスタ又は論理デバイスなどの電子又は電気コンポーネントを形成し、上面絶縁層を有する。基板を支持する複数のバールは、薄膜スタック上又は薄膜スタックのアパーチャ内に形成される。【選択図】図９ |
| 申请公布号 |
JP2015508229(A) |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
| 申请号 |
JP20140555139 |
申请日期 |
2013.01.17 |
| 申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． |
发明人 |
ラファーレ，レイモンド;ドンデルス，ソヘルド;テン ケイト，ニコラース;トジオムキナ，ニナ;カラデ，ヨゲシュ;ローデンブルク，エリザベス |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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