自动检验从膜片架正确移除晶粒之系统及其方法;Systems and Methods for Automatically Verifying Correct Die Removal from Film Frames

摘要

一套镂空晶圆检查系统，包括一个扩展台，该扩展台可相对于用来拍摄胶膜框架上镂空晶圆分段图像的相机作位移。在分段图像拍摄期间，照明被引导至胶膜框架的顶端及/或底端。分段图像以数位方式拼接起来，以产生复合图像，该复合图像可予以处理，以识别有效区域晶粒位置上的晶粒存在或空缺，该有效区域晶粒位置在加工晶圆图中具有对应的晶粒位置。亦可产生胶膜框架上的切割晶圆复合图像，并在晶粒分类作业期间作为导航辅助或指南使用，或是在晶粒分类作业之前查验晶粒分类设备是否正确侦测到参考晶粒。亦可产生镂空晶圆的复合图像，在胶膜框架复原作业中作为导航辅助或指南使用。