垂直共振腔面射型雷射及其制造方法

摘要

垂直共振腔面射型雷射〔1〕具备，第1反射镜层〔11〕、第2反射镜层〔15〕、活性层〔13〕、电流狭窄层〔16〕。电流狭窄层〔16〕包含，氧化部〔17〕及被氧化部〔17〕围绕之未氧化部〔18〕。藉由于电流狭窄层〔16〕之氧化部〔17〕之相邻区域注入离子形成高电阻区域〔25〕。由与基板〔10〕垂直之方向来看，高电阻区域〔25〕与电流狭窄层〔16〕之未氧化部〔18〕分离。