铝掺杂剂组成物，递送组套及使用方法;ALUMINUM DOPANT COMPOSITIONS, DELIVERY PACKAGE AND METHOD OF USE

摘要

本发明提供一种使用铝掺杂剂组成物的新颖方法和系统。选择具有足够蒸气压及最低碳含量之铝掺杂剂组成物的组成，从而得以容易递送至离子植入程序及实质减少Al离子植入期间的碳沉积。该来源材料较佳为由次大气压贮存与递送装置贮存及递送以提高该Al离子植入程序期间的安全性及可靠性。