发明名称 真空泵及用于操作真空泵的方法;VACUUM PUMP AND METHOD FOR OPERATING A VACUUM PUMP
摘要 本发明相关于一真空泵,特别是一转叶泵,包含一配置于一泵壳(10)中的吸入室(12)。在吸入室(12)中,配置一运送元件(14、16)。在吸入室(12)的一入口(22),提供一止回阀(28)。为了在存在于入口(22)的区域的低压下关闭止回阀(28),一流体装置(36)被配置毗邻于螺旋弹簧(34)。当真空泵关闭时,一开关活塞(40)被移入一位置,在该位置中流体系经由一进给通道(42)流入一连接通道(38),使得流体藉由流入进给通道(42)而关闭止回阀(28)。
申请公布号 TW201510362 申请公布日期 2015.03.16
申请号 TW103119834 申请日期 2014.06.09
申请人 欧瑞康蓝伯德真空股份有限公司 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 德斯佩斯 克里斯多夫 DESPESSE, CHRISTOPHE
分类号 F04C25/02(2006.01);F04C18/344(2006.01) 主分类号 F04C25/02(2006.01)
代理机构 代理人 王彦评赖碧宏
主权项
地址 德国 DE