发明名称 |
真空泵及用于操作真空泵的方法;VACUUM PUMP AND METHOD FOR OPERATING A VACUUM PUMP |
摘要 |
本发明相关于一真空泵,特别是一转叶泵,包含一配置于一泵壳(10)中的吸入室(12)。在吸入室(12)中,配置一运送元件(14、16)。在吸入室(12)的一入口(22),提供一止回阀(28)。为了在存在于入口(22)的区域的低压下关闭止回阀(28),一流体装置(36)被配置毗邻于螺旋弹簧(34)。当真空泵关闭时,一开关活塞(40)被移入一位置,在该位置中流体系经由一进给通道(42)流入一连接通道(38),使得流体藉由流入进给通道(42)而关闭止回阀(28)。 |
申请公布号 |
TW201510362 |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
申请号 |
TW103119834 |
申请日期 |
2014.06.09 |
申请人 |
欧瑞康蓝伯德真空股份有限公司 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH |
发明人 |
德斯佩斯 克里斯多夫 DESPESSE, CHRISTOPHE |
分类号 |
F04C25/02(2006.01);F04C18/344(2006.01) |
主分类号 |
F04C25/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
王彦评赖碧宏 |
主权项 |
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地址 |
德国 DE |