基板処理装置

摘要

第１端部および第２端部、ならびに端部間に延びる２つの側面を有する移送チャンバ内で基板を搬送するための移送装置である。移送装置は、駆動セクション、および少なくとも１つのベースアームを備え、ベースアームは、一端で移送チャンバに対して固定され、駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも１つのアームリンクと、ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも１つの移送アームとを含み、少なくとも１つの移送アームは２つのエンドエフェクタを有する。駆動セクションは、３自由度を画定する３つの独立した回転軸を有する。１自由度は、少なくとも１つの移送アームを搬送するために、少なくとも１つのベースアームを水平方向に移動させ、２自由度は、少なくとも１つの移送アームを延伸および後退させ、２つのエンドエフェクタを入れ替えるために、少なくとも１つの移送アームを駆動する。