| 发明名称 |
用于绕射结构之光谱资讯之计算的傅立叶谐波序数的自动判定;AUTOMATIC DETERMINATION OF FOURIER HARMONIC ORDER FOR COMPUTATION OF SPECTRAL INFORMATION FOR DIFFRACTION STRUCTURES |
| 摘要 |
本发明描述用于绕射结构之光谱资讯之计算的傅立叶谐波序数的自动判定。一方法之实施例包括：自动地判定用于周期性结构之光谱资讯之计算的一傅立叶谐波序数，其中该傅立叶谐波序数之该判定至少部分地基于该等周期性结构之多个方向中之每一者上的间距、该等周期性结构之材料性质、及其中含有该等材料之该等周期性结构之特性；及至少部分地基于该经判定傅立叶谐波序数来计算该等周期性结构之该光谱资讯。; and computing the spectral information for the periodic structures based at least in part on the determined Fourier harmonic order. |
| 申请公布号 |
TW201510476 |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
| 申请号 |
TW103119307 |
申请日期 |
2014.06.03 |
| 申请人 |
东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
贝科斯 马克 BACKUES, MARK;艾亚吉 保罗 AOYAGI, PAUL;波斯拉夫斯基 李奥尼多 POSLAVSKY, LEONID |
| 分类号 |
G01B11/24(2006.01);G01B11/16(2006.01);G01N21/25(2006.01) |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP; |
