电化学沉积设备及用以控制其中之化学品的方法;ELECTROCHEMICAL DEPOSITION APPARATUS AND METHODS FOR CONTROLLING THE CHEMISTRY THEREIN

摘要

描述一种电化学沉积系统。该电化学沉积系统包含：一个以上电化学沉积模组，配置于一共同的载台之上，用于将一种以上金属沉积于一基板之上；及一化学品管理系统，与该一个以上电化学沉积模组连接。该化学品管理系统系建构成将一种以上金属成分供应至该一个以上电化学沉积模组其中至少一者，以沉积该一种以上金属。该化学品管理系统可包含至少一个金属浓化槽及至少一个金属浓缩物产生器槽。