形成基板开口之方法;METHODS OF FORMING A SUBSTRATE OPENING

摘要

本发明揭示一种形成一基板开口之方法，该方法包含在一基板中形成复数个并排开口。紧邻并排开口中之至少某些开口在该基板中形成至相对于彼此不同之深度。横向介于该等并排开口之间的壁经移除以形成一较大开口，该较大开口具有一非垂直侧壁表面，其中在通过正交于该等经移除壁之该侧壁表面之至少一个直线垂直剖面中移除该等壁。