机器人手臂控制装置、基板搬送装置、基板处理装置、机器人手臂控制方法及程式;ROBOT ARM CONTROL APPARATUS, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, ROBOT ARM CONTROL METHOD, AND PROGRAM

摘要

本发明可减少由机器人手臂进行搬送时造成之振动；用以控制具有2个以上的手臂部、及使2个以上的手臂部分别旋转之2个以上的旋转关节之机器人手臂装置之动作的机器人手臂控制装置系具备：控制部，系控制2个以上的旋转关节之旋转，以使2个以上的手臂部之中之最基部的手臂部以外之预定的手臂部之前端侧大致直线地移动者，且控制部系控制2个以上的旋转关节之旋转，以使得令预定的手臂部之前端侧进行大致直线地移动时之前端侧的动作加速度成为与预先设定之时间变迁一致的结果；预先设定之时间变迁中之动作加速度系在将动作加速度设为时间之函数时，使以时间微分函数所得之导函数相对于时间的变化而显示出连续的变迁。