研磨方法及研磨装置;POLISHING METHOD AND POLISHING APPARATUS

摘要

本发明提供一种可预防基板破损之研磨方法。本发明之研磨方法系检查基板之周缘部有无异常部位，未检测出异常部位时研磨基板，检测出异常部位时不研磨基板。基板之异常部位如附着于基板周缘部之接着剂等异物。基板研磨后，亦可再度检查基板周缘部有无异常部位。