半導体デバイス検査システムにおけるアポダイゼーションのためのシステムおよび方法

摘要

選択可能なアポダイゼーションを備えた検査システムは、試料の表面を照明するように構成された照明光源と、試料の表面から発散する光の少なくとも一部を検出するように構成された検出器（照明光源および検出器は光学システムの光路によって光学的に連結されている）と、光路に沿って配置された選択可能に構成可能なアポダイゼーションデバイスとを含み、ここで、アポダイゼーションデバイスは、１以上の方向に沿って１以上のアポダイゼーションエレメントを選択可能に作動させるように構成された１以上の作動ステージと作動的に連結された１以上のアポダイゼーションエレメントと、１以上の作動と連通され、１以上のアポダイゼーションエレメントの作動状態を制御することによって光路に沿って伝達される照明のアポダイゼーションを選択可能に制御するように構成された制御システムとを含む。