表面形貌辨识装置;APPARATUS FOR IDENTIFYING MORPHOLOGY

摘要

一种表面形貌辨识装置。表面形貌辨识装置包括基板、驱动电路、读取电路及辨识电路。基板包括温度感测器，且温度感测器包括感测电晶体。驱动电路选择电晶体的至少一个为目标感测电晶体，并于加热时段输出驱动讯号至目标感测电晶体以加热目标感测电晶体。目标感测电晶体于感测时段内感测一温度随时间变化之感测讯号，且感测时段系于加热时段之后。读取电路读取感测讯号，而辨识电路根据感测讯号辨识表面形貌。