振动片、感测器单元、电子机器、振动片之制造方法、及感测器单元之制造方法;VIBRATOR ELEMENT, SENSOR UNIT, ELECTRONIC APPARATUS, MANUFACTURING METHOD OF VIBRATOR ELEMENT, AND MANUFACTURING METHOD OF SENSOR UNIT

摘要

本发明系提供一种可抑制调整漏电输出之振动片、使用其之感测器单元及其制造方法、以及装载有该等振动片或感测器单元之电子机器。振动陀螺仪元件11系包含基部21、分别自基部21之Y轴方向之两端部延伸之一对驱动用振动臂22a、22b、及一对检测用振动臂23a、23b。又，自分别自基部21之X轴方向之两端部延伸之连结部24a、24b各自之前端部，设置有与驱动用振动臂22a、22b平行延伸之调整用振动臂125a、125b。于各调整用振动臂125a、125b之前端侧，包含作为宽幅部之锤部127a、127b。于各调整用振动臂125a、125b之主面，设置有用以调整振动陀螺仪元件11之漏电输出之作为膜体之调整用电极145a、145b。