用于电镀黏附之阳极氧化架构;ANODIZATION ARCHITECTURE FOR ELECTRO-PLATE ADHESION

摘要

为制造用于处理腔室之腔室元件，在带有杂质的金属制品上形成第一阳极氧化层，该第一阳极氧化层具有大于约100nm之厚度，且在该第一阳极氧化层上形成铝涂层，该铝涂层大体上没有杂质。在该铝涂层上可形成第二阳极氧化层。