| 发明名称 |
具有兼容之接触点之微拾取阵列;MICRO PICK UP ARRAY WITH COMPLIANT CONTACT |
| 摘要 |
本发明揭示用于从一载体基板转移微装置之微拾取阵列。在一实施例中，一种微拾取阵列包含用于将一操作电压从一电压源传递至一阵列之静电转移头的一兼容之接触点。在一实施例中，该兼容之接触点可相对于该微拾取阵列之一基底基板移动。 |
| 申请公布号 |
TW201511175 |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
| 申请号 |
TW103119419 |
申请日期 |
2014.06.04 |
| 申请人 |
乐福科技股份有限公司 LUXVUE TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
毕伯 安德思 BIBL, ANDREAS;哥达 达利尔斯 GOLDA, DARIUSZ |
| 分类号 |
H01L21/683(2006.01);H01L21/67(2006.01);B81C99/00(2010.01);B25J15/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
