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发明名称
惰性气体注入装置及惰性气体注入方法;INACTIVE GAS INTRODUCING FACILITY AND INACTIVE GAS INTRODUCING METHOD
摘要
本发明之保管架用惰性气体注入装置是在未下达停止无效指令之普通停止状态中,检测出检查门之开启状态时,使对容器之惰性气体之供给停止,在下达停止无效指令之停止无效状态中,检测出检查门之开启状态时,使依据检测前供给型式之惰性气体的供给继续并且禁止以人工操作变更用以订定检测前供给型式之参数。
申请公布号
TW201511081
申请公布日期
2015.03.16
申请号
TW103118409
申请日期
2014.05.27
申请人
大福股份有限公司 DAIFUKU CO., LTD.
发明人
高原正裕 TAKAHARA, MASAHIRO;上田俊人 UEDA, TOSHIHITO
分类号
H01L21/02(2006.01)
主分类号
H01L21/02(2006.01)
代理机构
代理人
恽轶群陈文郎
主权项
地址
日本 JP
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