侦测处理设备闲置模式之方法及装置;METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING AN IDLE MODE OF PROCESSING EQUIPMENT

摘要

在本文中提供侦测处理设备之一闲置模式的方法及装置。在一些实施例中，一种监视一处理系统之装置可包括一第一系统配接器，其用于监视一第一制程腔室及确定其一状态；及一第一支援配接器，其用于与耦接至该第一制程腔室之该第一系统配接器及一第一支援系统通信，该支援配接器设以回应于处于一闲置模式的该第一制程腔室之该状态而将一在一低功率模式下操作该第一支援系统之预备状态传达至该支援系统之一控制器。; and a first support adapter for communicating with the first system adapter and a first support system coupled to the first process chamber, the support adapter configured to communicate a readiness to operate the first support system at a low power mode to a controller of the support system in response to the state of the first process chamber being in an idle mode.