间隙测定装置;GAP MEASUREMENT DEVICE

摘要

提案对来自有宽幅之间隙的特定点的光线，不于间隙附近配置遮罩而可受光的间隙测定装置。间隙测定装置(1)系具有照射测定对象之间隙(3)的光源(5)、使间隙(3)的透射光所致之间隙像(3A)成像于成像面(7)的透镜光学系(6)、及对形成于透镜光学系6的成像面(7)上之间隙像(3A)作受光的受光元件(9)。于成像面(7)上，配置有具备所定口径之光通过用的孔洞(8a)的附孔洞遮罩(8)，受光元件9透过孔洞(8a)对间隙像(3A)作受光。利用透镜光学系(6)使有宽幅之间隙的像成像，于该透镜光学系(6)的成像面(7)上欲测定之点放置附孔洞遮罩(8)的孔洞(8a)，藉此可测定间隙(3)之测定对象之点的间隙尺寸。