| 发明名称 |
多层标靶之设计;MULTI-LAYERED TARGET DESIGN |
| 摘要 |
本发明提供多层标靶，及其设计档案与设计及产生方法。该多层标靶包括：程序层，其经配置以在指定区域具有平行分割特征部；及标靶层，其包括垂直于该等指定区域处之该等程序层之该等平行分割特征部的标靶元件。 |
| 申请公布号 |
TW201511210 |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
| 申请号 |
TW103118863 |
申请日期 |
2014.05.29 |
| 申请人 |
克莱谭克公司 KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
艾米尔 纽瑞尔 AMIR, NURIEL |
| 分类号 |
H01L23/544(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/544(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
