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发明名称
マイクロデバイス転写ヘッド
摘要
マイクロデバイス転写ヘッド及びヘッドアレイを開示する。一実施形態において、マイクロデバイス転写ヘッドは、ベース基板、側壁を有するメサ形構造体、メサ形構造体を覆って形成された電極、及び電極を覆う誘電体層を含む。マイクロデバイス転写ヘッド及びヘッドアレイに電圧を印加して、キャリア基板からマイクロデバイスをピックアップし、転写先基板上にマイクロデバイスをリリースすることができる。
申请公布号
JP2015507839(A)
申请公布日期
2015.03.12
申请号
JP20140542343
申请日期
2012.11.07
申请人
ルクスビュー テクノロジー コーポレイション
发明人
ビブル アンドレアス;ヒギンソン ジョン エイ;ロー フン−ファイ スティーブン;フー シン−ファ
分类号
H01L21/52
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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