| 摘要 |
センサは、基板（１６）と、基板（１６）に固定されたセンサ素子（２０）と、を備え、基板（１６）およびセンサ素子（２０）は異種の材料からなり、かつ異なる熱膨張率を有し、センサ素子（２０）および基板は（１６）それぞれ、実質的に互いに平行に配置された概ね平坦な面を有し、本センサはさらに、スペーサ（２６）を備え、スペーサ（２６）は、基板（１６）の少なくとも一部からセンサ素子（２０）の少なくとも一部を離間させるように配置され、スペーサ（２６）は、基板（１６）の面およびセンサ素子（２０）の面のうちの小さい方の面積よりもかなり小さい面積である。 |
