| 摘要 |
<p>Eine Messvorrichtung (10) dient zur Messung einer Position einer sich in Gestalt eines Strahls (14) ausbreitenden Strahlung (16) in einer Ebene quer zur Strahlrichtung. Die Messvorrichtung (10) umfasst einen optischen Resonator (20), welcher zwei Resonatorspiegel (22, 24) zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenz eines eingestrahlten Messlichts (40) aufweist. Einer der Resonatorspiegel (24) umfasst ein Dünnschichtelement (26), welches derart konfiguriert ist, dass das Dünnschichtelement bei punktueller Erwärmung zumindest im Bereich (18) der Erwärmung eine gewölbte Form annimmt.</p> |
