一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚

摘要

本实用新型公开了一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，包括坩埚本体、坩埚护板和坩埚盖板，在坩埚本体内设置有用于将坩埚本体的内部空腔分隔成第一空间和第二空间的隔板，坩埚本体的底部内侧设置有用于使隔板通过插接固定于坩埚本体内的插槽；第一空间的形状与坩埚本体内部空腔的形状一致。该坩埚还包括设置于坩埚本体底部内表面的球形SiO₂颗粒层、设置在颗粒层之上的疏松的第一氮化硅涂层以及设置在坩埚本体的侧壁内表面的坚硬致密的第二氮化硅涂层。该坩埚不需要冷冲击，就能生产出底部红区短，晶粒尺寸小而均匀的高质量多晶硅锭，同时，也能提高铸锭过程中的硅料融化效率，缩短融化时间，减少坩埚涂层的腐蚀和缩短铸锭周期。

主权项

一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，包括坩埚本体(1)，其特征在于，还包括围设在坩埚本体(1)外的坩埚护板(2)和用于封盖在坩埚本体(1)上的坩埚盖板(3)，在坩埚本体(1)内设置有用于将坩埚本体(1)的内部空腔分隔成位于中部的用于容置碎料的第一空间和围在所述第一空间四周的用于容置块料和护边料的第二空间的隔板(5)，坩埚本体(1)的底部内侧设置有用于使隔板(5)通过插接固定于坩埚本体(1)内的插槽(4)；隔板(5)围成的第一空间的形状与坩埚本体(1)内部空腔的形状一致；还包括设置于所述坩埚本体(1)的底部内表面的球形SiO₂颗粒，所述球形SiO₂颗粒形成颗粒层(6)；以及设置在所述颗粒层(6)之上的疏松的第一氮化硅涂层(71)以及设置在坩埚本体(1)的侧壁内表面的坚硬致密的第二氮化硅涂层(72)。