发明名称 静電チャック
摘要 <p>A ceramic material mainly contains magnesium, aluminum, oxygen, and nitrogen, in which the ceramic material has a magnesium-aluminum oxynitride phase serving as a main phase, wherein XRD peaks of the magnesium-aluminum oxynitride phase measured with CuKalpha radiation appear at at least 2theta=47 to 50°.</p>
申请公布号 JP5683601(B2) 申请公布日期 2015.03.11
申请号 JP20120540772 申请日期 2011.10.11
申请人 发明人
分类号 C04B35/58;C04B35/04;H01L21/683 主分类号 C04B35/58
代理机构 代理人
主权项
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