多晶硅氢化尾气回收系统及尾气利用方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅氢化尾气回收系统及尾气利用方法，其中系统包括：氯化氢储罐，存储低温氯化氢液体；吸收塔富液换热器，吸收塔富液和解析塔的氯化硅贫液在吸收塔富液换热器内换热；氯化氢蒸发器，其管程入口与吸收塔富液换热器连接，换热后的氯硅烷贫液进入氯化氢蒸发器的管程，所述氯化氢蒸发器的壳程连接氯化氢储罐；氟利昂蒸发器，连接氯化氢蒸发器管程的出口，氟利昂蒸发器对来自氯化氢蒸发器管程的氯硅烷贫液制冷后送入吸收塔；去精馏氯硅烷换热器，连接氯化氢蒸发器壳程，来自氯化氢蒸发器壳程的氯化氢在去精馏氯硅烷换热器内与去精馏的氯硅烷换热后输送至三氯氢硅合成。本发明能够降低能耗，提升氢化反应的产能。

主权项

多晶硅氢化尾气回收系统，其特征在于，包括：氯化氢储罐，存储来自精馏塔顶部的低温氯化氢液体；吸收塔富液换热器，所述吸收塔富液换热器接收吸收塔富液和解析塔的氯化硅贫液，所述吸收塔富液和氯化硅贫液在所述吸收塔富液换热器内换热；氯化氢蒸发器，其管程入口与吸收塔富液换热器连接，换热后的氯硅烷贫液进入氯化氢蒸发器的管程，所述氯化氢蒸发器的壳程入口连接氯化氢储罐；氟利昂蒸发器，连接氯化氢蒸发器管程的出口，所述氟利昂蒸发器对来自氯化氢蒸发器管程的氯硅烷贫液制冷后送入吸收塔；去精馏氯硅烷换热器，连接氯化氢蒸发器壳程出口，来自氯化氢蒸发器壳程的氯化氢在去精馏氯硅烷换热器内与去精馏的氯硅烷换热后输送至三氯氢硅合成。