圆筒形聚合物掩膜和制造方法

摘要

一种圆筒形掩膜可使用中空浇注圆筒和掩膜圆筒来制造。所述浇注圆筒具有比所述掩膜圆筒的外径大的内径。所述浇注圆筒和所述掩膜圆筒被同轴地组装，并且液体聚合物被注入在所述浇注圆筒的内表面与所述掩膜圆筒的外表面之间的环绕所述掩膜圆筒的空间内。在固化所述液体聚合物之后，移除所述浇注圆筒。所述固化聚合物的表面可被图案化。要强调的是，本摘要是提供来符合要求摘要将容许检索者或其它读者可快速确认技术公开内容的主题的规则。本摘要是在理解摘要不会被用来解读或限制权利要求书的范围或含义的情况下提交。

主权项

一种制造圆筒形掩膜的方法，所述方法包括：将中空浇注圆筒和掩膜圆筒同轴地组装，其中所述浇注圆筒和所述掩膜圆筒中的一个具有比所述浇注圆筒和所述掩膜圆筒中的另一个的外径大的内径；将液体聚合物前体注入在所述浇注圆筒与所述掩膜圆筒之间的空间内；固化在所述浇注圆筒与所述掩膜圆筒之间的所述空间内的所述液体聚合物前体，由此形成固化聚合物的层；移除所述浇注圆筒，从而在所述掩膜圆筒的表面上留下所述固化聚合物的层；以及将所述固化聚合物的表面图案化。