一种研磨装置

摘要

本实用新型提供一种研磨装置，包括研磨垫、研磨头、研磨液供给器、研磨垫调整器，所述研磨垫调整器包括机械手臂，水平设置于所述机械手臂下端的用于固定研磨盘的磁性基座，以及第一清洗槽及第二清洗槽，通过所述机械手臂实现所述磁性基座在所述第一清洗槽及所述第二清洗槽之间的移动；所述第一清洗槽内放置有第一研磨速率的研磨盘，所述第二清洗槽内放置有第二研磨速率的研磨盘，且所述第一研磨速率大于所述第二研磨速率。本实用新型利用磁性基座拾取研磨盘，更换简单，可根据不同的研磨速率要求随时更换不同研磨速率的研磨盘，以稳定研磨速率，提高研磨质量，同时避免螺丝对研磨垫的机械损伤。

主权项

一种研磨装置，包括研磨垫、研磨头、研磨液供给器，其特征在于，还包括研磨垫调整器，所述研磨垫调整器包括机械手臂，水平设置于所述机械手臂下端的用于固定研磨盘的磁性基座，以及第一清洗槽及第二清洗槽，通过所述机械手臂实现所述磁性基座在所述第一清洗槽及所述第二清洗槽之间的移动；所述第一清洗槽内放置有第一研磨速率的研磨盘，所述第二清洗槽内放置有第二研磨速率的研磨盘，且所述第一研磨速率大于所述第二研磨速率。