一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括外部封装结构，所述外部封装结构包括线路板以及形成侧壁的中空腔体和顶板，封装结构内部设置有MEMS芯片及ASIC芯片，顶板上设置有声孔。在封装结构外部的顶板上设置有高温胶带，高温胶带与顶板之间贴装有覆盖声孔的防护垫，可以有效避免在封装过程中，外界的异物颗粒如焊锡、灰尘、气流等通过声孔进入到MEMS麦克风内部，同时，设计工艺更简单，效率更高，且操作更易控制，通用性更强，再者，可防止MEMS麦克风声孔在透气性不佳的情况下无法迅速排出气体而导致的MEMS芯片的膜片破裂的情况。因此，本实用新型MEMS麦克风，具有防尘防气流性能好，优化了MEMS麦克风的制作工艺，提高了MEMS麦克风可靠性。

主权项

一种MEMS麦克风，包括外部封装结构，所述外部封装结构包括线路板以及形成侧壁的中空腔体和顶板，所述封装结构内部设置有MEMS芯片及ASIC芯片，所述顶板上设置有声孔，其特征在于：所述封装结构外部的所述顶板上贴装有高温胶带，所述高温胶带与所述顶板之间贴装有覆盖所述声孔的防护垫。