用于确定螺旋结构的方法

摘要

本发明涉及一种用于确定至少局部为圆柱形工件的表面粗糙度中的螺旋结构的方法，其中，在工件所关注的表面区域中实施多个在工件轴向方向上延伸的、在圆周方向上彼此隔开距离的切片扫描，根据由切片扫描获得的测量值确定螺旋结构的至少一个特征参数的值。根据本发明，根据与第一扫描切片相配的测量值确定螺旋结构的至少一个特征参数的估计值，并且根据与至少一个第二扫描切片相配的测量值校正所述估计值。

主权项

用于确定至少局部为圆柱形的工件的表面粗糙度中的螺旋结构的方法，其中，在工件所关注的表面区域中实施多次在工件轴向方向上延伸的、在圆周方向上彼此隔开距离的切片扫描，根据通过扫描切片获得的测量值确定螺旋结构的至少一个特征参数的值，其特征在于，根据与第一扫描切片相配的测量值确定螺旋结构的至少一个特征参数的估计值，并且根据与至少一个第二扫描切片相配的测量值校正所述估计值，其中，估计值借助如下的补偿函数来确定：其中，Δx：轴向方向上的单位为mm的扫描步长ΔΦ：圆周方向上的单位为度的扫描步长以及参数λ：轴向方向上单位为mm的周期分量的波长DG：整数的线数A_k：余弦函数的单位为μm的幅值余弦函数的以弧度表示的角度偏移。