刻蚀装置

摘要

本发明公开了一种刻蚀装置，包括：刻蚀槽；喷嘴，用以向所述刻蚀槽内喷洒刻蚀液；刻蚀液储存单元，通过管道与所述喷嘴相连通，所述刻蚀液储存单元与所述刻蚀槽之间还设置有用来回收使用过的刻蚀液的回收管路；盐酸添加装置，用以向所述刻蚀槽内加入盐酸溶液；及氯化银过滤单元，设置在所述回收管路中。刻蚀槽与刻蚀液储存单元连通以回收蚀刻液，且二者之间设有氯化银过滤单元，刻蚀装置还包括用以向刻蚀槽中注入盐酸溶液的盐酸添加装置，盐酸溶液与刻蚀液中的银离子，生成氯化银固体，混合有氯化银固体的刻蚀液经过滤单元过滤后返回刻蚀液储存单元，如此蚀刻液中的银离子的浓度得以控制，延长了使用寿命。

主权项

一种刻蚀装置，其特征在于，包括：刻蚀槽；喷嘴，用以向所述刻蚀槽内喷洒刻蚀液；刻蚀液储存单元，通过管道与所述喷嘴相连通，所述刻蚀液储存单元与所述刻蚀槽之间还设置有用来回收使用过的刻蚀液的回收管路；盐酸添加装置，用以向所述刻蚀槽内加入盐酸溶液；及氯化银过滤单元，设置在所述回收管路中。