一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置及应用方法

摘要

一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置及应用方法，是由：车体、上绝缘块、一号磁靴、倒U形磁铁护套、永磁体、下绝缘座、传动导向杆、高度调节槽、夹杆、ITO薄膜安装区构成；车体上方的永磁体与真空室内的永磁体产生相互的吸引力，使车体向上处于悬浮状态，车体携带ITO薄膜沿传动系统传动轮的向前平稳运行，有效地提高了ITO薄膜的电阻率和透过率，保障车体长期使用且不影响正常生产，节省了大量的人力、物力、财力，降低生产成本，保障产品质量，提高产品市场竞争力。

主权项

一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置，是由：车体(1)、上绝缘块(2)、一号磁靴(3)、倒U形磁铁护套(4)、永磁体(5)、下绝缘座(6)、传动导向杆(7)、高度调节槽(8)、夹杆(9)、ITO薄膜安装区(10)构成；其特征在于：车体(1)内设置矩形空腔，车体(1)两侧设置至少两个高度调节槽(8)，相同高度的两个高度调节槽(8)之间设置夹杆(9)；车体(1)上方设置至少五个上绝缘块(2)，下方设置至少五个下绝缘座(6)，上绝缘块(2)的上方与倒U形磁铁护套(4)之间设置一号磁靴(3)，倒U形磁铁护套(4)内设置永磁体(5)，下绝缘座(6)下方设置传动导向杆(7)。