| 发明名称 | 直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法，主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、台面(6)、栅极(7)、钝化层(8)和保护层(11)，其中钝化层(8)内设有凹槽(9)，钝化层(8)与保护层(11)之间淀积有直角栅场板(10)，直角栅场板(10)靠近栅极一侧边缘与凹槽靠近栅极一侧边缘对齐，该直角栅场板与栅极(7)电气连接，且下端完全填充在凹槽(9)内。本发明具有工艺简单、击穿电压高、场板效率高、可靠性高和成品率高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN104409495A | 申请公布日期 | 2015.03.11 |
| 申请号 | CN201410660230.0 | 申请日期 | 2014.11.18 |
| 申请人 | 西安电子科技大学 | 发明人 | 毛维;郝跃;范举胜;董萌;刘红侠;杨林安;王冲;郑雪峰;张金风 |
| 分类号 | H01L29/778(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/778(2006.01)I |
| 代理机构 | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人 | 王品华;朱红星 |
| 主权项 | 一种直角栅场板异质结场效应晶体管，自下而上包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、钝化层(8)和保护层(11)，势垒层(3)的上面淀积有源极(4)、漏极(5)与栅极(7)，势垒层(3)的侧面刻有台面(6)，且台面的深度大于势垒层的厚度，其特征在于，钝化层(8)内刻有凹槽(9)，钝化层(8)与保护层(11)之间淀积有直角栅场板(10)，该直角栅场板(10)与栅极(7)电气连接，且其下端完全在填充凹槽(9)内，直角栅场板靠近栅极一侧边缘与凹槽靠近栅极一侧边缘对齐。 | ||
| 地址 | 710071 陕西省西安市太白南路2号 | ||