放射线敏感性树脂组合物、抗蚀图案形成方法、聚合物和聚合性化合物

摘要

一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有具有酸解离性基团的聚合物(A)、由放射线照射而产生酸的产酸剂(B)、以及具有下述通式(x)表示的官能团和氟原子的聚合物(C)，上述聚合物(C)是氟原子含量比上述聚合物(A)高的聚合物。[通式(x)中，R¹表示碱解离性基团，A表示氧原子(其中，不包括直接与芳香环、羰基和磺酰基连结的氧原子)、亚氨基、-CO-O-*或者-SO₂-O-*(“*”表示与R¹结合的结合位点)。]。——A——R¹(x)。

主权项

一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：具有酸解离性基团的聚合物(A)、通过放射线照射而产生酸的产酸剂(B)、以及具有下述通式(c0)表示的重复单元、下述通式(c5)表示的重复单元和氟原子的聚合物(C)，所述聚合物(C)为氟原子含有比例比所述聚合物(A)高的聚合物；通式(c0)中，R¹为下述通式(1)～(3)表示的基团，通式(1)和(2)中，R¹⁰表示卤原子，在存在多个时，相互独立；m₁表示0～5的整数，m₂表示0～4的整数；通式(3)中，R¹¹和R¹²相互独立地表示氢原子或者碳原子数为1～10的烷基，R¹¹和R¹²可相互结合而形成碳原子数为4～20的脂环式结构；A表示‑CO‑O‑*，“*”表示与R¹结合的结合位点；R²表示单键、碳原子数为1～10的2价链状烃基或者碳原子数为4～20的2价环状烃基；X⁰表示一部分或全部的氢原子被氟原子取代的碳原子数为1～20的2价链状烃基；R³表示碳原子数为1～20的(n+1)价烃基，还包括在R²侧的末端结合有氧原子、硫原子、亚氨基、羰基、‑CO‑O‑或者‑CO‑NH‑的结构；E表示‑CO‑O‑*或者‑CO‑NH‑*，“*”表示与R³结合的结合位点；R表示氢原子、甲基或者三氟甲基；n表示1～3的整数；其中，在n为2或者3时，R¹、R²、X⁰和A相互独立；通式(c5)中，R与通式(c0)中的R含义相同，Y表示酸解离性基团。