| 发明名称 | 近红外吸收膜组合物 | ||
| 摘要 | 一种可固化液体配制剂，其包含：(i)一种或多种近红外吸收聚甲炔染料；(ii)一种或多种可交联聚合物；和(iii)一种或多种浇铸溶剂。本发明还涉及由交联形式的可固化液体配制剂组成的固体近红外吸收膜。本发明还涉及一种含有固体近红外吸收膜的涂层的微电子基质以及在近红外吸收膜在微电子基质与光致抗蚀剂膜之间的情况下将涂覆在微电子基质上的光致抗蚀剂层图案化的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102695762B | 申请公布日期 | 2015.03.11 |
| 申请号 | CN201080036605.6 | 申请日期 | 2010.08.06 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | D·L·戈德法布;M·格罗德;W·S·黄;S·刘;L·维克利奇;W·李 |
| 分类号 | C09D5/32(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | C09D5/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 徐国栋;林柏楠 |
| 主权项 | 一种可固化液体配制剂，其包含：(i)一种或多种近红外吸收聚甲炔染料；(ii)一种或多种可交联聚合物，所述可交联聚合物为共聚物、三元共聚物或更高级聚合物，其由选自如下的一种或多种含环氧基单元：<img file="FDA0000567842810000011.GIF" wi="210" he="268" />和<img file="FDA0000567842810000012.GIF" wi="210" he="376" />以及选自如下的一种或多种单元：<img file="FDA0000567842810000013.GIF" wi="1682" he="1140" />构成，其中n为至少1的值；(iii)一种或多种浇铸溶剂；和(iv)产酸剂，其选自：<img file="FDA0000567842810000021.GIF" wi="1176" he="885" />和九氟丁烷磺酸三乙铵。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||