一种防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法。本发明提出一种防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，通过在磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜上淀积一层无定形碳薄膜，从而隔绝磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜与外界水汽等因素的反应，从而阻止了其吸水受潮现象的发生，可以使制造好的磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃膜可以长时间地得以保存；而当制备有磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜的晶圆需要进行下一步出货时，只需要用普通的等离子体灰化和湿法清洗即可去除此无定形碳薄膜，不仅能减少晶片报废的可能性，增大产品的良率和节约工艺成本，且工艺简单易操作。

主权项

一种防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：在一硅衬底上沉积磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜；步骤S2：沉积无定形碳薄膜覆盖所述磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜的上表面，以防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜在保存时吸水受潮；步骤S3：确认后续工艺准备好后，进行下一步工艺前，依次采用等离子体灰化工艺和清洗工艺去除所述无定形碳薄膜。