| 发明名称 |
Vorrichtung zum Abbilden einer Maske mit mehreren Mustern auf ein halbleitendes Substrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH483026(A) |
申请公布日期 |
1969.12.15 |
| 申请号 |
CH19680001292 |
申请日期 |
1968.01.29 |
| 申请人 |
N. V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
TAPLEY FERGUSON,ERIC |
| 分类号 |
G02B17/00;G02B17/08;G03F7/20;(IPC1-7):G02B27/18 |
主分类号 |
G02B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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