| 主权项 |
一种电子线用或EUV微影用化学增幅正型光阻组成物，其系含有(A)单一种之高分子化合物或复数种之高分子化合物的混合物，上述高分子化合物之一部份或全部系具有藉由酸被脱保护之保护基，使以上述高分子化合物或上述高分子化合物之混合物所成的膜，对于硷性显像液为不溶性，藉由酸的作用变成可溶性的高分子化合物或高分子化合物的混合物、(B)酸产生剂、(C)抑制酸之作用的硷性化合物、及(D)溶剂的电子线用或EUV微影用化学增幅正型光阻组成物，上述(C)成分之硷性化合物系具有一般式(1)及(2)表示之重复单位及式(5)及(6)表示之重复单位之高分子化合物，且为上述(A)成分之高分子化合物的一部份或全部，上述高分子化合物之(C)成分以外的(C)成分为不含分子量1,000以下的化合物或含有时为(B)成分之酸产生剂之20分之1莫耳以下，
(式中，A系表示单键、或链之中间可含有醚性氧原子之碳数1~10之伸烷基，R1系各自独立表示氢原子或甲基，R2系各自独立表示碳数1~6之烷基，B1、B2及B3系各自独立表示单键、或选自可含有醚性氧原子之碳数1~10之直链状或支链状之伸烷基、可介于醚性氧原子之碳数5~10之2价脂环式基、及可介于醚性氧原子之碳数6~14之2价芳香族基之1种或2种以上之组合所成的结合链，Z1及Z2系表示单键、-CO-O-或-O-CO-，但是B1、B2及B3含有醚性氧原子时，不成为-O-O-结构，Z2为-CO-O-或-O-CO-时，B3不成为单键，R3及R4系各自独立表示氢原子、或碳数1~10之可含有杂原子之1价烃基，但是R3、R4不同时为氢原子，R3及R4系相互结合，与此等结合之氮原子一同形成环，此时表示碳数2~12之可含有杂原子的2价烃基，
B3与R3或B3与R4结合，与此等结合之氮原子一同形成环，此时，含有该氮原子的环为5~7员环，但是不会成为该氮原子之孤立电子对提供芳香族性给含该氮原子之环的结构的环，又，含有该氮原子的环不成为芳香环，a系0~4之整数，b系1~5之正整数，p、q系各自独立表示0或1，t系表示0~2之整数，但是q为0时，与B1之主链碳结合的原子系醚性氧原子或构成芳香环之一部份的碳原子，q为0且Z1及Z2为单键时，B1、B2及B3之一部份必定包含来自伸烷基之2个以上之连续的碳原子或芳香族基)，(式中，e为0~4之整数，R7系各独立表示卤素原子、羟基、以酸不安定基保护的羟基、碳数2~7之可经卤素取代之醯氧基、碳数1~6之可经卤素取代之烷基、碳数1~6之可经卤素取代之烷氧基、或碳数2~7之可经卤素取代之烷氧基羰基)，在该高分子化合物中，该式(1)表示之重复单位含量为至少45莫耳%且该式(5)或(6)表示之重复单位含量为至少10莫耳%。 |
