一种硅材料热源结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种硅材料热源结构及其制作方法，首先采用光刻及剥离工艺(lift-off)制作发热体，然后刻蚀出相应的悬臂梁结构得到悬臂梁结构发热体，并在硅结构上构建附有高热阻反射膜的支撑腔体；所述硅材料热源结构由悬臂梁结构发热体和附有高热阻反射膜的支撑腔体表面处理后键合而成，为微米尺寸，其制备方法采用悬空方法形成热孤立岛；同时在其下方构建附有高热阻反射膜的周围热反射腔体，以保证热量辐射的方向性，可制作出单向辐射的热源，热传导效率高；本技术不仅适用于微机电领域，同样可以应用于传统发热器制造，精度更高。

主权项

一种硅材料热源结构，其特征在于，由悬臂梁结构发热体和附有高热阻反射膜支撑腔体键合而成，所述悬臂梁结构发热体的发热金属层采用剥离工艺制备。