带有经过改进的应力免疫的背面照明图像传感器

摘要

提供了一种图像传感器件。该图像传感器件包括具有正面和背面的基板，该背面相对于正面。该基板具有像素区域和外围区域。该图像传感器件包括设置在基板的像素区域中的多个辐射感应区域。每个辐射感应区域都能够通过操作感测出通过背面投射到辐射感应区域的辐射。该图像传感器件包括设置在外围区域中的参考像素。该图像传感器件包括连接到基板的正面的互连结构。该互连结构包括多个互连层。该图像传感器件包括形成在基板的背面上方的薄膜。该薄膜使得基板受到张应力。该图像传感器件包括设置在薄膜上方的辐射阻挡器件。本发明还提供了一种带有经过改进的应力免疫的背面照明图像传感器。

主权项

一种图像传感器件，包括：基板，具有正面和背面，所述背面与所述正面相对；辐射感应区域，设置在所述基板中，所述辐射感应区域能够通过操作检测出通过所述背面进入到所述基板的辐射波；互连结构，设置在所述基板的所述正面上方；材料层，设置在所述基板的所述背面上方，其中，所述材料层将张应力传递到所述基板；钝化层，设置在所述材料层上方，其中，设置在所述辐射感应区域上方的部分材料层未被所述钝化层覆盖；以及辐射屏蔽器件，设置在所述材料层的至少一部分的上方。