键合机上的Z向电机的冷却装置、冷却方法及键合机

摘要

本发明提供的键合机上的Z向电机的冷却装置和冷却方法，包括分别设置于Z向电机的Z电机动子两侧的第一气体导入装置和第二气体导入装置，第一气体导入装置和第二气体导入装置用以对Z电机动子两侧分别导入冷却气体。冷却方法包括：通过第一气体导入装置向Z电机动子一侧导入的气体；同时，通过第二气体导入装置向Z电机动子另一侧导入气体。本发明的键合机的Z电机动子两侧分别设置第一气体导入装置和第二气体导入装置。由于冷却时向Z电机动子两侧同时导入冷却气体，使冷却效率大为提高，键合机的Z向电机可以长时间工作。由于冷却效率的大幅提高，Z向电机可以驱动键合头运动部分在更高的速度、加速度下运行，提高了键合机的工作效率。

主权项

一种键合机上的Z向电机的冷却装置，其特征在于，包括分别设置于所述Z向电机的Z电机动子两侧的第一气体导入装置和第二气体导入装置，Z电机动子作Zθ向旋转运动，所述第一气体导入装置和第二气体导入装置分别与气源通过管道连接，用以对所述Z电机动子两侧分别导入冷却气体，所述第一气体导入装置上靠近所述Z电机动子的面上、所述第二气体导入装置靠近所述Z电机动子的面上分别设置有出气部，所述出气部是分别开在所述第一气体导入装置上靠近所述Z电机动子的面上、第二气体导入装置靠近所述Z电机动子的面上的呈竖直直线排列且均匀排列的出气小孔，所述第一气体导入装置和所述第二气体导入装置结构相同，所述第一气体导入装置和所述第二气体导入装置以所述Z电机动子所在平面为对称面对称。