| 发明名称 | 冷阱及真空排气装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种冷阱及真空排气装置，其能够在短时间内使排气对象容积恢复到所希望的真空度。冷阱(210)具备冷冻机(222)及热连接于冷冻机(222)并被冷却的冷板(220)。在冷板(220)上形成有粗糙面(242)。冷阱(210)例如配置于将真空室(216)连接于涡轮分子泵(212)的排气流路(214)中，使从真空室(216)通过排气流路(214)吸入至涡轮分子泵(212)并被排气的气体的一部分在冷板(220)的表面上冻结来捕捉。 | ||
| 申请公布号 | CN102743894B | 申请公布日期 | 2015.03.11 |
| 申请号 | CN201110099460.0 | 申请日期 | 2011.04.20 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 田中秀和 |
| 分类号 | B01D8/00(2006.01)I;F04B37/08(2006.01)I | 主分类号 | B01D8/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 一种冷阱，其具备冷冻机及热连接于该冷冻机并被冷却的冷板，其特征在于，在所述冷板上在具有第1表面粗糙度的面上形成有粗糙面，该粗糙面形成有比该第1表面粗糙度小的第2表面粗糙度。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||