一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法

摘要

本发明涉及一种铜锌锡硫(CZTS)四元靶材的制备方法。该发明采用高纯硫化亚铜(Cu₂S)、硫化锌(ZnS)、二硫化锡(SnS₂)粉末为原料，按照所需化学计量比充分球磨混合均匀，将混合粉末置于模具中经热压烧结成型，制成铜锌锡硫(CZTS)四元靶材。本发明工艺简单，制得的CZTS靶材成分均匀，相对密度达到90％以上，溅射性能良好，主要用于高效率、低成本的CZTS薄膜太阳能电池的制备与规模化生产。

主权项

一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法，其特征在于：按照化学计量比将纯度≥4N的高纯硫化亚铜Cu₂S、硫化锌ZnS、二硫化锡SnS₂粉末混合均匀；然后将混合粉末烘干、过筛；然后将混合均匀的粉末置于模具中通过热压烧结制备CZTS四元靶材。