发明名称 |
晶圆承载框的加工装置 |
摘要 |
本发明公开了一种晶圆承载框的加工装置,其特征在于,包括:绷膜装置,用于绷紧薄膜,使薄膜具有张力;所述绷膜装置可运动地设置;支撑台;所述支撑台与所述绷膜装置相对设置,用于支撑绷膜框;所述绷膜装置朝薄膜运动后抵顶薄膜,将薄膜绷紧;所述绷膜装置与所述支撑台相对运动后,将薄膜压靠在位于支撑台的绷膜框上。本发明提供的晶圆承载框的加工装置,将晶圆承载框的加工自动化,大大提高了晶圆承载框的生产效率及生产合格率。 |
申请公布号 |
CN104409385A |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201410559475.4 |
申请日期 |
2014.10.20 |
申请人 |
上海技美电子科技有限公司 |
发明人 |
刘永丰 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海脱颖律师事务所 31259 |
代理人 |
李强 |
主权项 |
晶圆承载框的加工装置,其特征在于,包括:绷膜装置,用于绷紧薄膜,使薄膜具有张力;所述绷膜装置可运动地设置;支撑台;所述支撑台与所述绷膜装置相对设置,用于支撑绷膜框;所述绷膜装置朝薄膜运动后抵顶薄膜,将薄膜绷紧;所述绷膜装置与所述支撑台相对运动后,将薄膜压靠在位于支撑台的绷膜框上。 |
地址 |
201100 上海市闵行区黎安路1126号7-9楼 |