发明名称 |
一种石英舟清洗和饱和处理方法 |
摘要 |
本发明公开了一种石英舟清洗和饱和处理方法,具体步骤:石英舟的清洗,将石英舟放入浓度为10%~25%的氢氟酸进行浸泡40min~120min后,放入喷淋槽用纯水喷淋,喷淋时间为20min~90min;干燥,用气体干燥剂吹干石英舟;石英舟的饱和,将石英舟放入炉温为800℃~900℃的管式扩散炉中,通入氧气和流量为1000~3000ml/min三氯氧磷液态源,其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1~5;最后用10~30L/min的氮气或者氧气冷却石英舟。其优点:经过清洗后石英舟上的硅粉松动,再放入喷淋槽中喷淋,使得松动的硅粉完全清除,再通过大流量的三氯氧磷液态源和氧气饱和,使得存在‘死角’的石英舟卡槽充分吸收磷原子,硅片上不会产生卡槽印,提高电池片的合格率。 |
申请公布号 |
CN102881620B |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201210315992.8 |
申请日期 |
2012.08.31 |
申请人 |
宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 |
发明人 |
吴艳芬;詹国平;刘伟;陈筑;刘晓巍;蔡二辉 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 |
代理人 |
代忠炯 |
主权项 |
一种石英舟清洗和饱和处理方法,其特征在于,包括以下步骤:1)石英舟的清洗:将石英舟放入浓度为10%~25%的氢氟酸进行浸泡40min~120min后,放入喷淋槽用纯水喷淋,喷淋时间为20min~90min;2)清洗后的干燥:用气体干燥剂吹干石英舟;3)石英舟的饱和:将石英舟放入炉温为800℃~900℃的管式扩散炉中,通入氧气和流量为1000~3000ml/min三氯氧磷液态源,其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1~5;4)最后用10~30L/min的氮气或者氧气冷却石英舟。 |
地址 |
315177 浙江省宁波市鄞州区望春工业园区杉杉路181号 |