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发明名称 DIFFUSION PROCESS
摘要
申请公布号 US3490962(A) 申请公布日期 1970.01.20
申请号 USD3490962 申请日期 1966.04.25
申请人 INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 MICHAEL C. DUFFY;DAVID P. KENNEDY;PHILIP C. MURLEY;WILLIAM J. ARMSTRONG;JACK JAY SEABOLDT
分类号 H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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