正型光阻组成物及图案形成方法

主权项

一种正型光阻组成物，其特征为包含以下成分：(A)硷溶解性因酸而提升的树脂，含有包含酸不稳定基的重复单元(a1)、具有环状烃基且在其环内含有酯基、醚基、碳酸酯基或磺酸酯基中之至少1种的重复单元(a2)、具有环氧乙烷环的重复单元(a3)、以及下述通式(10)所示的重复单元(a4)；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；
(式中，R23表示氢原子或甲基；X4为碳数1~20之直链状或分支状的伸烷基、-O-R24-、或-C(=O)-X5-R24-，且伸烷基之碳原子所键结之氢原子亦可被氟原子取代；X5表示氧原子或NH，R24表示碳数1~25之直链状、分支状或环状的伸烷基，且亦可包含羰基、酯基或醚基；再者，R24之键结于碳原子的氢原子亦可被氟原子取代；M1+表示具有取代基的鋶阳离子、錪阳离子中之任一者)。